场发射扫描电子显微镜原理(电子显微镜的使用发展历程简短)
2022-11-03 15:21:52
场发射扫描电镜(FESEM)是电子显微镜的一种,其原理是利用二次电子或背散射电子成像,对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察,同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析,是我们材料研究分析中一双亮丽的“眼睛”。
扫描电镜按照电子枪分类可以分为钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射(Field Emission)三种,场发射扫描电镜相比于钨灯丝、六硼化镧,具有电子束斑小、高分辨率、稳定性好等特点。
1、金属、陶瓷、高分子、矿物、半导体、纸张、化工产品的显微形貌观察及材料的晶体结构、相组织分析;
2、各种材料微区化学成分的定性定量检测;
3、粉末、微粒、纳米样品形态观察和粒度测定;
4、机械零件与工业产品的失效分析;
5、镀层厚度、成分与质量测定;
6、生物、医学和农业等领域。
案例1:碳纳米管,石墨SEM形貌观察;
案例2:LED荧光填充物进行成分分析;
案例3:粉末样品的粒度分析测量;
案例4:金属镀层厚度测量;
案例5:金属间化合物观察与测量;
案例6:锡须观察;
案例7:断口分析;
案例8:PCB失效分析(如金,镍面形貌及腐蚀深度)。
1、SEM的二次电子成像分辨率1.0nm;
2、背散射电子成像分辨率2.0nm;
3、EDS成分分析的元素范围Be(4)~Cf(98);
4、分析深度约1μm;
5、检测下限约1%;
6、空间分辨率约1μm。
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